柱面图形光学刻划的研究

• 作者: 付永启 赵兴国 赵晶丽
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 柱面图形 光学刻划
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 研究通讯和短文
• 页码范围: 97-99
• 分类号: TH7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.1999.01.029

摘要

柱面涂胶问题、刻划间隙的选取及新型光刻掩模板的研制是柱面图形光学刻划需解决的三大关键问题,本文以这三个问题为中心详细讨论了在圆柱面上光刻图形的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵兴国	中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室	4	33	3.0	4.0
2	赵晶丽	中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室	16	189	7.0	13.0
3	付永启	中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室	3	11	1.0	3.0