光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究

• 作者: 王俊杰 申远 竺长安 齐向东
• 来源期刊: 湖南大学学报（自然科学版）
• 关键词: 光栅刻划机 光机电集成优化 计算傅里叶光学 智能优化
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 机电工程
• 页码范围: 43-48
• 页数: 6页
• 分类号: TH122
• 语种: 中文

摘要

针对大面积衍射光栅刻划机在宏观尺度下进行微纳加工的工作特点以及纳米级刻线检测困难的问题,提出了一种光机电集成优化方法.此方法采用计算傅里叶光学和弦振动理论进行光栅刻线误差分析,结合振动实验及光学测量进行验证,最后采用智能优化方 法对刻划系统进行结构参数优化.虚拟样机仿真结果表明,刻划系统的振动幅度降低了30％,验证了该集成优化方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	竺长安	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	120	870	16.0	23.0
2	齐向东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	61	630	16.0	22.0
3	申远	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	10	96	6.0	9.0
7	王俊杰	合肥师范学院电子信息工程学院	1	1	1.0	1.0