SOI技术及其最新进展

• 作者: 吴福根 罗南林
• 来源期刊: 广东工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: SOI 工艺 单晶硅
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 页码范围: 89-94
• 分类号: TN43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7162.1999.03.019

摘要

介绍了近年来实现三维集成电路中的关键技术--SOI技术的各类方法,重点讨论了各种SOI技术的最新进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴福根	广东工业大学数理系	85	662	14.0	22.0
2	罗南林	广东农工商管理学院计算机系	10	45	3.0	6.0