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激光投影成像
扫描曝光
焦深
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内容分析
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文献信息
篇名 高能高功率KrF激光装置研制进展
来源期刊 中国原子能科学研究院年报 学科 工学
关键词 氟化氮激光装置 脉冲功率技术 角多路MOPA系统 Raman实验
年,卷(期) zgyznkxyjynb,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 34-35
页数 2页 分类号 TN248.22
字数 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
氟化氮激光装置
脉冲功率技术
角多路MOPA系统
Raman实验
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国原子能科学研究院年报
年刊
大16开
北京275信箱65分箱
1978
chi
出版文献量(篇)
6253
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