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多功能镀膜机的研制
多功能镀膜机的研制
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摘要：
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基于PEM的反应磁控溅射镀膜机参数监控系统
磁控溅射
真空镀膜
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用单片机控制卷绕式真空镀膜机
镀膜机
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期刊影响力
真空电子技术
主办单位：
北京真空电子技术研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1002-8935
CN：
11-2485/TN
开本：
大16开
出版地：
北京749信箱7分箱
邮发代号：
创刊时间：
1959
语种：
chi
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2372
总下载数（次）
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8712
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