CF_4- CH_4 等离子体对 PET 的表面改性及反应动力学

• 来源期刊: 山东工业大学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 反应动力学 等离子体聚合 表面分析 改性
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 页码范围: 32-38
• 页数: 7页
• 分类号: O631.5|O53
• 语种: 中文

摘要

利用 X射线光电子能谱仪和接触角方法研究表征了 C F4? C H4 混合气体 R F等离子体改性 P E T的表面特征?根据沉积速率可将整个浓度范围分为三个区域,各区域内等离子体作用机制不同?区域1(0~83.3％ )为等离子体聚合区域;区域2(83.3~96.2％ )内聚合起主要作用,刻蚀起次要作用,区域3(96.2~100％ )内刻蚀和氟化接枝起主要作用?借鉴表面吸附反应动力学模型,推导出等离子体表面类吸附反应动力学方程式,理论计算的沉积速率与实验值有很好的相关性?