HTS台阶边缘结特性和制作的实验研究

• 作者: 吴陪均 杨涛 陈烈 陈珂
• 来源期刊: 低温物理学报
• 学科: 物理学
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 页码范围: 25-29
• 分类号: O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3258.1999.01.005

摘要

本文用原子力显微镜(AFM)对有不同伏安特性的台阶边缘结之台阶形貌进行了仔细测量.结果表明:台阶边缘晶界结特性受非平面衬底离子束刻蚀剖面细节的影响.文中对刻蚀剖面形貌的细节对结性能的影响进行了分析,并讨论了台阶结制作工艺重复性差,成品率低的原因.