激光镀技术的研究动态

• 作者: 王建 郁祖湛
• 来源期刊: 电镀与精饰
• 学科: 工学
• 关键词: 激光 诱导 化学沉积 电沉积
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 所属期刊栏目: 21世纪表面技术展望
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TG15
• 字数: 4824字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3849.1999.02.001

摘要

综述了十多年来国内外激光诱导金属沉积技术的最新发展,主要介绍了激光诱导液相化学沉积以及固态膜法激光直接镀覆金属技术的实验体系、机理,以及激光光束的特性、材料的光学特性与温度特性对沉积过程的影响.并介绍了该技术在微电子领域的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王建	上海复旦大学化学系	3	71	3.0	3.0
2	郁祖湛	上海复旦大学化学系	3	64	3.0	3.0