TIO_2纳米薄膜和TIO_2/ZNFE_2O_4纳米复合薄膜的光学性能研究

• 来源期刊: 山西大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米薄膜 磁控溅射 光吸收边调制
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 页码范围: 356-361
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 语种: 中文

摘要

用磁控溅射方法制备了TIO2 纳米薄膜和TIO2/ZNFE2O4 纳米复合薄膜,研究了不同温度热处理和不同含量纳米铁酸锌对纳米TIO2 薄膜光学性能的影响.研究结果表明:用磁控溅射方法制备的纳米薄膜的厚度和晶粒尺寸均匀,并且随着热处理温度的升高而增大,掺杂纳米ZNFE2 O4后TIO2 纳米薄膜的晶粒尺寸略有减小.XRD 研究发现TIO2/ZNFE2O4 纳米复合薄膜由非晶相向锐态矿相转变的温度高于纳米TIO2 薄膜.TIO2 纳米薄膜和TIO2/ZNFE2 O4 纳米复合薄膜的光吸收边都随着晶粒尺寸的降低而发生蓝移,在相同热处理条件下,掺杂纳米ZNFE2 O4 后,纳米TIO2薄膜的光吸收边发生了较大范围的红移,红移量随着掺杂量的增加而增大.通过热处理和掺杂纳米ZNFE2O4 可以实现对纳米TIO2 薄膜光吸收边大范围的调制.