论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 综合期刊 \
- 其它期刊 \
- 等离子体应用技术快报期刊 \
在反应性Ar／N2de磁控管等离子体中添加He,Ne,Kr对沉积TiN的影响
推荐文章
煤在H2/Ar电弧等离子体中的热解
煤
等离子体
裂解
乙炔
动力学
H2/Ar等离子体射流反应器的模拟
等离子体反应器模拟计算流体动力学
彩色等离子体显示屏新型Ne-Xe-Kr混合气体的研究
等离子体显示屏
放电气体
亮度
发光效率
煤在H2 /Ar等离子体热解过程中硫转化的研究
煤
等离子体
加氢热解
脱硫
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
| 篇名 | 在反应性Ar／N2de磁控管等离子体中添加He,Ne,Kr对沉积TiN的影响 | ||
| 来源期刊 | 等离子体应用技术快报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 磁控管溅沉积 氩 氮 等离子体 薄膜沉积 涂层 | ||
| 年，卷（期） | dlztyyjskb_1999,（11） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 13-14 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TN304.055 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1999(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
磁控管溅沉积
氩
氮
等离子体
薄膜沉积
涂层
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
等离子体应用技术快报
主办单位：
核工业西南物理研究院
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
四川省成都市432信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
864
总下载数（次）
2
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
等离子体应用技术快报2000
等离子体应用技术快报1999
等离子体应用技术快报1998
等离子体应用技术快报1997
等离子体应用技术快报1996
等离子体应用技术快报1995
等离子体应用技术快报1994
等离子体应用技术快报1999年第9期
等离子体应用技术快报1999年第8期
等离子体应用技术快报1999年第7期
等离子体应用技术快报1999年第6期
等离子体应用技术快报1999年第5期
等离子体应用技术快报1999年第4期
等离子体应用技术快报1999年第3期
等离子体应用技术快报1999年第2期
等离子体应用技术快报1999年第12期
等离子体应用技术快报1999年第11期
等离子体应用技术快报1999年第10期
等离子体应用技术快报1999年第1期
