甲醇水溶液等离子体电沉积DLC薄膜

• 作者: 余红霞 武鹄 罗北平 许友 黄锋
• 来源期刊: 湖南理工学院学报（自然科学版）
• 关键词: DLC薄膜 微观结构 等离子体 电流密度 极间距 电沉积
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 52-56
• 分类号: O646
• 语种: 中文

摘要

在铜基体上,用甲醇水溶液等离子体电沉积 DLC 薄膜.电镀液组成为:醇水比为4:1,添加剂 KCl 为3g/L, AlCl3微量.探讨电流密度和两极间距等因素对于电极表面气泡区域厚度、均匀程度、稳定性的影响,进而分析其对甲醇水溶液等离子体电沉积DLC薄膜的影响.通过扫描电镜(SEM)观察薄膜表面形貌;通过对X射线衍射(XRD)图谱分析得知薄膜成多晶结构,分别在2θ=43.9°,50.9°和75.3°处出现了(111)、(200)和(220)晶面的特征峰,晶粒的尺寸约为8~15nm左右;通过EDX分析得到薄膜中碳元素含量较高,并分析了电场强度随时间的变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	武鹄	湖南理工学院化工系	28	39	4.0	5.0
2	余红霞	湖南理工学院化工系	11	61	4.0	7.0
3	罗北平	湖南理工学院化工系	20	64	5.0	7.0
4	许友	湖南理工学院化工系	15	22	3.0	4.0
5	黄锋	湘潭大学化工学院	3	9	1.0	3.0