高剂量铂和钇离子注入Al2O3单晶的表面改性

• 作者: 徐洪杰 曹德新 朱德彰 潘浩昌 谢东珠
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入 α-Al2O3单晶 晶格损伤 表面改性
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 页码范围: 213-217
• 页数: 5页
• 分类号: TL1
• 字数: 2866字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.1999.04.005

摘要

研究了<0001>和<>晶向α-Al2O3单晶在高剂量的Y、Pt离子注入后产生的损伤,注入层的性能变化和退火行为.实验结果表明,在室温,171keV、1×1017/cm2Y离子注入的<>α-Al2O3单晶的表面层约有139nm厚被无定形化.而158keV、9×1017/cm2 Pt离子注入的<0001>α-Al2O3单晶的表面层不产生无定形,且实际离子注入进衬底的剂量只有2.65×1016/cm2,绝大部分在注入过程中被溅射掉.注入后其表面层的硬度提高了大约50%,表面层的电阻率降低了12个数量级.在空气中退火后形成了随机取向的纳米量级大小的Pt微晶,表面层的硬度也有所降低,但仍稍高于未注入的单晶硬度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐洪杰	中国科学院上海原子核研究所	56	438	10.0	19.0
2	朱德彰	中国科学院上海原子核研究所	26	83	5.0	8.0
3	潘浩昌	中国科学院上海原子核研究所	6	10	2.0	3.0
4	谢东珠	中国科学院上海原子核研究所	1	1	1.0	1.0
5	曹德新	中国科学院上海原子核研究所	1	1	1.0	1.0