铁电-硅集成微麦克风和扬声器研究

• 作者: 任天令 刘理天 李志坚
• 来源期刊: 清华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电-硅集成 微麦克风和扬声器 锆钛酸铅(PZT) 悬臂式结构
• 年，卷（期）: 1999,（Z1）
• 所属期刊栏目: 微电子学
• 页码范围: 74-76
• 分类号: TN6|TN384
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.1999.Z1.019

摘要

目的是为实现高灵敏度、集成化的微麦克风和扬声器奠定基础.利用锆钛酸铅 (PZT) 铁电体具有的优良的力电耦合特性,提出将PZT铁电薄膜与硅工艺相结合,研制悬臂式铁电-硅集成微麦克风和扬声器.利用双膜片模型对PZT振膜结构进行了优化设计,并对其工艺流水过程进行了初步设计,从而为集成微麦克风和扬声器的最终实现奠定了设计基础.铁电-硅集成微麦克风和扬声器可望应用于多媒体语音输入及移动通信等方面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学微电子学研究所	87	600	13.0	19.0
3	李志坚	清华大学微电子学研究所	84	451	11.0	15.0