热处理与表面处理工艺

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 表面处理工艺 高功率离子束 热处理 化学汽相淀积 微电子器件 脉冲多弧离子源 激光辅助 实验研究 金属的 实验结果
• 年，卷（期）: 1999,（6）
• 页码范围: 41-42
• 页数: 2页
• 分类号: TN

摘要

【正】 Y98-61429-192 9907417用高功率离子束改进基于 Al、Fe 和 Ti 的金属的特性的表面处理和合金=Surface treatment and alloyingwith high-power ion beams to improve properties in Al-,Fe-,and Ti-based metals[会,英]/Renk,T.J.&Buchheit,R.G.//1997 IEEE 11th International PulsedPower Conferenee,Vol.1.—192～197(AG)Y98-61442-377 9907418微电子器件生产用的激光化学汽相淀积=Laser chem-ical vapor deposition for microelectronics production[会,