全自动光栅尺激光外差动态检测系统

• 作者: 吴玉斌 朱勤 胡晓朋
• 来源期刊: 深圳大学学报（理工版）
• 学科: 工学
• 关键词: 激光外差干涉仪 光栅尺 动态自动检测 数据分析与处理
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 37-42
• 页数: 6页
• 分类号: TP274|TH744.3
• 字数: 1246字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2618.2000.01.004

摘要

给出一种以激光外差干涉仪为基准,用计算机实现自动控制、数据采集、动态检测、误差分析和列表输出等多项功能的光栅尺高精度自动检测系统. 与传统检测方法相比,具有精度高、自动化程度高、速度快和测量结果直观清晰等优点. 该系统现已用于大批量生产的光栅尺检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱勤	深圳大学工程技术学院	16	56	5.0	6.0
2	吴玉斌	深圳大学工程技术学院	20	114	6.0	10.0
3	胡晓朋	深圳大学工程技术学院	8	18	2.0	4.0