论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 综合期刊 \
- 其它期刊 \
- 等离子体应用技术快报期刊 \
一种极高靶功率密度的新型脉冲磁控管溅射技术
推荐文章
射频溅射功率密度对Ga:ZnO透明导电薄膜性能的影响
透明导电薄膜
氧化锌
Urbach带尾
磁控溅射
基于Labview的雷达发射机磁控管老炼系统设计
磁控管
老炼
采集卡
Labview
自动监控
线功率密度保护理论模型研究
线功率密度保护
燃料芯块
燃料包壳
基于注入锁相的磁控管微波源系统稳定性研究与测试
微波源
磁控管
DC?RF转换
相位控制
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
| 篇名 | 一种极高靶功率密度的新型脉冲磁控管溅射技术 | ||
| 来源期刊 | 等离子体应用技术快报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 靶功率密度 脉冲磁控管溅射技术 等离子体 薄膜 | ||
| 年，卷（期） | 2000,（5） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 12-13 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TL629.1 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
2000(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
靶功率密度
脉冲磁控管溅射技术
等离子体
薄膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
等离子体应用技术快报
主办单位：
核工业西南物理研究院
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
四川省成都市432信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
864
总下载数（次）
2
总被引数（次）
0
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
等离子体应用技术快报2000
等离子体应用技术快报1999
等离子体应用技术快报1998
等离子体应用技术快报1997
等离子体应用技术快报1996
等离子体应用技术快报1995
等离子体应用技术快报1994
等离子体应用技术快报2000年第9期
等离子体应用技术快报2000年第8期
等离子体应用技术快报2000年第7期
等离子体应用技术快报2000年第6期
等离子体应用技术快报2000年第5期
等离子体应用技术快报2000年第4期
等离子体应用技术快报2000年第3期
等离子体应用技术快报2000年第2期
等离子体应用技术快报2000年第12期
等离子体应用技术快报2000年第11期
等离子体应用技术快报2000年第10期
等离子体应用技术快报2000年第1期
