一个电子工厂的气体供应系统

• 作者: 安志星 安真
• 来源期刊: 工厂动力
• 学科: 工学
• 关键词: 气体供应系统 电子工厂 TFT-LCD
• 年，卷（期）: gcdl,（2）
• 页码范围: 36-39
• 页数: 4页
• 分类号: TN873.93

摘要

本文结合具体工程设计实例，对一个电子工厂的压缩空气系统，常用气体系统、特种气体系统作简要介绍。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	安志星		1	0	0.0	0.0
2	安真		1	0	0.0	0.0