大面积高精度快速3D测试中莫尔技术的应用探索

• 作者: 李根乾 王学礼 谭玉山 赵宏
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 投影莫尔 三维测量 变光源 相移
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文与技术报告
• 页码范围: 405-409
• 页数: 5页
• 分类号: TN911.73|TH741.5
• 字数: 2951字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2000.06.009

摘要

设计了一种全新的投影莫尔三维轮廓投影成像测试系统。去除了传统机械式相移结构，首次利用计算机实时控制变光源相移技术，大大提高了系统测试速度。创造性地采用垂直投影，双CCD倾斜成像机构，提高了光场的均匀性和可测物范围。该系统具有测试速度快(全场测量：4～8 s)、测量面积大(最大可为300mm×300 mm)、光强照明均匀等优点，系统测量精度可达40 um。详细分析了系统关键技术，并给出了具体实验结果。结果表明系统的设计原理是成功的，为大面积物体三维轮廓快速高精度测量提供了一种有力的手段。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵宏	西安交通大学激光与红外应用研究所	71	687	16.0	23.0
2	谭玉山	西安交通大学激光与红外应用研究所	77	1184	18.0	31.0
3	王学礼	西安交通大学激光与红外应用研究所	8	42	5.0	6.0
4	李根乾		5	15	2.0	3.0