压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究

• 作者: 丁玉成 崔东印 王艳蓉 王莉
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 压印光刻 光栅 自动对准 驱动器
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 页码范围: 719-721,752
• 页数: 4页
• 分类号: TH112|TH113.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2005.07.015

摘要

针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2 μm和0.1 nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10 nm的高精度定位要求,使整个对准系统的套刻精度小于30 nm.因此,应用这种莫尔对准方法可以获得较高的对准精度,同时能够满足压印100 nm特征尺寸套刻精度的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁玉成	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	128	1941	23.0	39.0
2	王莉	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	112	679	14.0	20.0
3	崔东印	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	6	23	2.0	4.0
4	王艳蓉	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	1	1	1.0	1.0