步进闪光压印光刻模具制作工艺研究

• 作者: 丁玉成 卢秉恒 李寒松
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 压印光刻 硅橡胶 模具
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 专题研究
• 页码范围: 337-340
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2006.03.021

摘要

由于硅橡胶具有良好的自适应性和优异的脱模性,所以选取硅橡胶作为模具材料,并确定使用硅橡胶加石英硬衬作为压印光刻工艺的模具.分析了硅橡胶模具制作工艺中真空辅助浇铸的成型过程,以及交联固化反应过程的各个工艺参数对硅橡胶模具性能的影响,通过大量实验,具体分析了硅橡胶单体和固化剂配比、浇铸真空压力、固化温度及固化时间等工艺参数,并由此得到了优化的硅橡胶固化工艺参数,提高了硅橡胶模具的物理性能.实验表明,硅橡胶模具具有良好的自清洁功能,其表面图形完好,图形转移效果优异,完全能够满足300 nm特征尺寸图形复型转移压印的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢秉恒	西安交通大学制造系统工程国家重点实验室	387	5973	36.0	56.0
2	丁玉成	西安交通大学制造系统工程国家重点实验室	128	1941	23.0	39.0
3	李寒松	西安交通大学制造系统工程国家重点实验室	11	104	6.0	10.0