高精度压印机热误差补偿中温度变量的辨识

• 作者: 丁玉成 严乐 刘红忠 卢秉恒
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 压印光刻 压印机 套刻对准精度 因子分析 热误差补偿
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 专题研究
• 页码范围: 827-830,840
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2006.07.020

摘要

为了提高压印机在压印光刻工艺中的套刻对准精度,提出了采用因子分析方法来选取压印机热误差模型中的温度变量,根据变量之间的相关性分组后,再根据各变量与热误差之间的相关性在每一组中选取一个代表变量,最终将压印机上布置的温度传感器从15个减少到3个.在压印机温度测量关键点处建立了温度与模具在x、z方向热误差关系的数学模型,模型的热误差预测精度达到了98%以上.实验结果表明,该方法不仅保证了模型的精度,而且大大地减少了模型的计算时间,是一种在压印机热误差建模中选择温度测量关键点的有效方法.它不仅避免了热误差建模过程中的变量耦合问题,而且提高了模型的精确性,经过补偿,压印机的热误差在x、z方向都减小到200 nm以内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢秉恒	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	387	5973	36.0	56.0
2	丁玉成	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	128	1941	23.0	39.0
3	刘红忠	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	46	349	10.0	16.0
4	严乐	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	6	74	4.0	6.0