压印工作台的纳米级自找准定位研究

• 作者: 丁玉成 刘红忠 卢秉恒 金涛
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 压印光刻 光栅 对准 驱动器 定位
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 页码范围: 467-470
• 页数: 4页
• 分类号: TH112|TH113.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2003.05.008

摘要

针对分步压印光刻工艺超高精度的对准要求,论述了一套由光栅、驱动器及激光干涉仪构成的闭环超高精度自对准定位系统.为了消除外界干扰引起的激光干涉仪误差对整个系统精度的影响,系统采用粗精两组光栅和相应两组光强传感器来实现工作台三维位置度的检测. 驱动环节采用宏微两级,相对于粗精两组光栅检测进行驱动,实现了分步式压印光刻的多点定位找准和多层压印的对准要求.为了提高在驱动过程中的定位精度和抗干扰能力,系统采用了精确模型匹配(EMM)算法,最终实现了在压印光刻工艺中,步进精度小于10 nm、多层压印重复对准精度小于20 nm的超高定位精度要求,使系统的整体定位找准精度控制在8 nm以内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢秉恒	西安交通大学机械工程学院	387	5973	36.0	56.0
2	丁玉成	西安交通大学机械工程学院	128	1941	23.0	39.0
3	金涛	西安交通大学机械工程学院	12	75	5.0	8.0
4	刘红忠	西安交通大学机械工程学院	46	349	10.0	16.0