单级悬浮工作台平面运动测量系统对准误差分析

• 作者: 伍宏亮 毛军红
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 误差分析 悬浮工作台 运动学模型 对准误差
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 51-55
• 分类号: TH115
• 语种: 中文

摘要

为了得到单级6自由度悬浮工作台的运动学模型,将非接触驱动和支承等效为由万向联轴器、伸缩杆和平面运动副组成的支链,在移动台转角很小的情况下,平面运动与离面运动相互独立,且不受伸缩杆与基座表面垂直度误差的影响.基于欧拉转动定理,通过计算工作台在2个不同位置时光轴与反射镜镜面交点之间的距离,建立了工作台平面运动测量系统三维对准误差模型.测量误差的分布及其对误差源的灵敏度表明,二维对准误差分析方法忽略的离面对准误差的灵敏度最大可达平面对准误差灵敏度的25%,L形反射镜绕z轴偏转造成的对准误差及镜面垂直度误差是影响测量误差的主要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛军红	西安交通大学润滑理论及轴承研究所	21	275	10.0	16.0
2	伍宏亮	西安交通大学润滑理论及轴承研究所	1	1	1.0	1.0