五自由度纳米级定位工作台的设计研究

• 作者: 刘志刚 朱健强 王勇 薄锋
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 精密定位 柔性机构 压电/电致伸缩驱动 五自由度
• 年，卷（期）: 2005,（15）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1317-1321
• 页数: 5页
• 分类号: TH112
• 字数: 4209字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.15.001

摘要

提出一种新型的五自由度精密定位平台的工作原理及其设计方法.工作台采用柔性导向机构实现平移及转动功能,采用压电陶瓷作为驱动元件,外置纳米级电容传感器作为位移量测量反馈元件,采用数字PID控制方法,可以实现纳米级精度的定位.给出了多种形式柔性导向机构刚度计算公式及设计实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王勇	中国科学院上海光学精密机械研究所	507	5142	33.0	48.0
2	刘志刚	中国科学院上海光学精密机械研究所	89	660	13.0	21.0
3	薄锋	中国科学院上海光学精密机械研究所	11	89	5.0	9.0
4	朱健强	中国科学院上海光学精密机械研究所	147	1132	17.0	31.0