面向纳米压印的大行程二维精密定位平台的设计

• 作者: 刘志龙 曾佑轩 李丰甜 汪文峰 马立
• 来源期刊: 自动化与仪表
• 关键词: 纳米压印 精密定位 电控系统 伺服参数 激光干涉仪
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 仪表与自动化装置
• 页码范围: 67-70,89
• 页数: 5页
• 分类号: TP394.1|TH691.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.19557/j.cnki.1001-9944.2018.07.016

摘要

纳米压印技术具有广阔的发展和应用空间,大面积纳米压印更是纳米压印技术走向产业化的关键.大行程、高速、高精度二维精密定位平台是大面积纳米压印工艺实现的基础设备,本文设计制造了一台大行程微米级高速高精度的二维定位平台.首先,对整个平台的机械结构和电控系统进行了合理的设计;接着,完成了整个结构系统与电控系统的搭建,并对电控系统的伺服参数进行了调试;最后,采用激光干涉仪搭建了面向纳米压印的大行程二维精密定位平台的实验测试系统.实验测试结果表明:该平台X、Y轴的行程都达到500mm;X轴速度和Y轴速度分别达到700mm/s和600mm/s;加速度都达到了1.5g;重复定位精度都在3μm以内.得到的性能指标满足纳米压印领域精密定位的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马立	上海大学机电工程与自动化学院	34	275	8.0	16.0
2	曾佑轩	上海大学机电工程与自动化学院	4	5	2.0	2.0
3	李丰甜	上海大学机电工程与自动化学院	3	3	1.0	1.0
4	刘志龙	上海大学机电工程与自动化学院	2	3	1.0	1.0
5	汪文峰	上海大学机电工程与自动化学院	5	8	2.0	2.0