真空漏率校准装置与检漏

• 作者: 吴根发 宋红
• 来源期刊: 四川真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空漏率 校准装置 流量计法 质谱检漏仪
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: TB774

摘要

本文叙述国内外真空检漏技术动态，着重介绍常用流量计法校准真空漏率的标准装置，结构、原理、最后统观一下氦质谱检漏仪发展与现状。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴根发		4	0	0.0	0.0
2	宋红		3	0	0.0	0.0