表面微观轮廓的高分辨率光学测量方法

• 作者: 王富生 谭久彬
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 表面微观轮廓 光学测量方法 高分辨率
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 309-315
• 页数: 7页
• 分类号: TB92
• 字数: 3875字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2000.04.002

摘要

较全面地介绍了用于表面微观轮廓测量的几种高分辨率甚至可达亚纳米的光学测量方法及其最新进展.文中重点描述了以扫描共焦显微检测法、离焦误差检测法为代表的光触针法,以TOPO轮廓仪、Nomarski显微镜、外差干涉轮廓仪、双焦干涉轮廓仪和同轴干涉轮廓仪为代表的干涉测量法和以扫描近场光学显微镜及光子扫描隧道显微镜为代表的近场光学法三种适用于表面微观轮廓测量的光学测量方法,分别介绍了其工作原理、特性、发展现状及存在问题,通过对这些方法的对比和总结,阐述了表面微观轮廓纳米级光学测量的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬	哈尔滨工业大学自动化测试与控制系	140	2284	28.0	42.0
2	王富生	哈尔滨工业大学自动化测试与控制系	3	108	3.0	3.0