氢化碳膜的胺掺杂及其对甲酸蒸气的质量传感特性

• 作者: 尹霞 曾健平 陈宗璋 颜永红 黄敬良 黄磊
• 来源期刊: 湖南大学学报（自然科学版）
• 关键词: 掺胺碳膜 微结构 质量传感
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 化学化工
• 页码范围: 26-30
• 页数: 5页
• 分类号: OA34.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-2472.2000.04.006

摘要

通过将其他元素或原子基团掺入氢化非晶碳膜网络结构中的方法,可以实现对α-C:H薄膜的改性,赋予α-C:H膜新的特性,从而满足某些特殊应用的需要.用含胺基的碳氢化合物正丁胺作为碳源,用等离子体增强化学气相沉积方法制备α-C:H膜.薄膜的红外光谱分析表明胺基团已掺入薄膜的网络结构中.喇曼光谱分析表明薄膜具有无序态碳、三配位碳和四配位碳原子的混合结构.但主要成份为无序态碳.将掺胺的α-C:H薄膜作为质量传感膜沉积到石英晶体表面制成气相质量传感器.该传感器对甲酸蒸气具有较高的响应灵敏度、好的线性相关系数和宽的线性响应范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾健平	湖南大学应用物理系	90	672	12.0	22.0
2	陈宗璋	湖南大学化学化工学院	94	1413	21.0	34.0
3	颜永红	湖南大学应用物理系	45	423	10.0	20.0
4	尹霞	湖南大学化学化工学院	28	189	7.0	13.0
5	黄敬良	湖南大学应用物理系	2	2	1.0	1.0
6	黄磊	湖南大学应用物理系	11	57	3.0	7.0