电轴法在超精密电容式传感器中的应用

• 作者: 付敬业 张洪刚 李跃平 赵玉春 郑义忠 郭静
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: +电轴法 电容式传感器 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 页码范围: 17-23
• 页数: 7页
• 分类号: TP2|V4
• 字数: 2325字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7202.2000.04.003

摘要

在电场理论中电轴法的基础上,导出了局部场域的电容计算式,为电容传感器在精密测量中的应用提供了理论依据,这为经典的电轴法开辟了新的应用领域并给出了几种粗糙度等级的被测表面的近似值与精确计算结果的对比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑义忠		60	769	17.0	25.0
2	郭静		27	539	12.0	23.0
3	张洪刚		6	116	4.0	6.0
4	付敬业		4	39	3.0	4.0
5	赵玉春		15	160	8.0	12.0
6	李跃平		1	1	1.0	1.0