表面形貌焦点跟踪测量方法的研究

• 作者: 张新宝 谢峰 谢铁邦
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 表面形貌 非接触测量 聚焦探测 伺服控制
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 173-177
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 3074字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2000.03.003

摘要

介绍了一种新型的基于聚焦探测法的自动焦点跟踪传感器,该传感器可实现表面形貌的快速、非接触测量,其垂直测量范围为500μm,最高分辨率为3nm.文中详细叙述了该传感器的工作原理、关键技术的实现及其应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张新宝		5	42	3.0	5.0
2	谢铁邦		10	70	5.0	8.0
3	谢峰		4	39	4.0	4.0