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放电频率对高密度Cl2等离子体中等离子体特性和蚀刻特性的影响
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文献信息
| 篇名 | 放电频率对高密度Cl2等离子体中等离子体特性和蚀刻特性的影响 | ||
| 来源期刊 | 等离子体应用技术快报 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 放电频率 氯气等离子体 等离子体特性 蚀刻特性 | ||
| 年，卷（期） | dlztyyjskb_2000,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 19-21 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | O53 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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放电频率
氯气等离子体
等离子体特性
蚀刻特性
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期刊影响力
等离子体应用技术快报
主办单位：
核工业西南物理研究院
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
四川省成都市432信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
864
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