洁净房间内亚微米粒子的沉积行为

• 作者: 亢燕铭 王明星
• 来源期刊: 应用力学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 洁净室 气溶胶粒子 滞止流 沉积
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 页码范围: 121-125
• 页数: 6页
• 分类号: O39
• 字数: 3172字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-4939.2000.04.021

摘要

采用二维滞止流模型,讨论了工业洁净室内不同送风速度下,气溶胶粒子分别受重力和电场力作用及二者联合作用时在工作台表面或晶片上的沉积特征.通过与相关文献提供的实验数据的对比,确认了这种预报超细粒子沉积行为的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王明星	中国科学院大气物理研究所	69	3101	30.0	55.0
2	亢燕铭		2	33	2.0	2.0