激光双法-珀干涉纳米测量系统总体设计

• 作者: 吴昭同 朱若谷 陈本永
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米测量 双法-珀干涉仪 轻拍式探针 柔性铰链微动工作台 PID闭环控制
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 所属期刊栏目: 测量和防护
• 页码范围: 379-384
• 页数: 6页
• 分类号: TN2
• 字数: 3404字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2000.06.011

摘要

设计了一套集光、机、电为一体的新型纳米测量系统:以激光为光源、双法-珀干涉仪及轻拍式探针为纳米传感部件、以柔性铰链机构的微动工作台为纳米扫描测试系统,并采用计算机数字PID实时控制处理;提出了通过测量双法-珀干涉仪透射光强基波幅值差或基波等幅值过零时间间隔的方法进行纳米测量的理论基础;理论分析了检测探针振动的方法;给出了基于柔性铰链机构的微动工作台的有限元设计新方法;设计了以电容传感器为精密位置反馈的PID闭环控制系统,解决了压电陶瓷等元件对系统造成的非线性影响;对系统误差进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴昭同	浙江大学机械系精密测量教研室	177	4029	36.0	52.0
2	朱若谷	中国计量学院计测系精仪教研室	17	128	7.0	11.0
3	陈本永	浙江大学机械系精密测量教研室	7	53	5.0	7.0