基于针式传感器的多功能扫描探针显微镜

• 作者: 张鸿海 徐龙 汪学方 王生
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜 针式传感器 一机多能
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TH742
• 字数: 2044字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2000.05.001

摘要

为了克服传统的扫描探针显微镜 (SPM) 在应用中的不足,采用微石英晶振来取代传统SPM的具有复杂结构的微悬臂和激光位移检测装置,使成本极大地下降.通过对锯齿型光栅试件的检测,证明这种检测方法是可行的.同时在微石英晶振前端安装不同种类的细针,可实现STM,AFM,MFM与EFM的测量,构成一机多能系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王生	华中理工大学机械科学与工程学院	3	7	1.0	2.0
2	张鸿海	华中理工大学机械科学与工程学院	5	14	2.0	3.0
3	汪学方	华中理工大学机械科学与工程学院	3	7	1.0	2.0
4	徐龙	华中理工大学机械科学与工程学院	4	14	2.0	3.0