微波解离氯分子及其解离率的研究

• 作者: 多丽萍 李健 李国富 桑凤亭 闵祥德
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 微波发生器 解离率 Cl原子
• 年，卷（期）: 2000,（z1）
• 页码范围: 66-68
• 页数: 3页
• 分类号: TN248.5
• 字数: 1157字
• 语种: 中文

摘要

通过微波解离Cl2与Ar的混合气来获得Cl原子,并对Cl2解离率进行了测量.反应池内压力在200～253Pa范围变化时,可得到较多的Cl原子.当压力为256Pa时,Cl2的解离率可达8%以上.但随着反应池内压力的增加,Cl2解离率反而下降,这可能是Cl原子发生复合的几率增大所致.