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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 腔型减幅振荡技术在大面积rf等离子体反应器中的应用
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 物理学
关键词 腔型减幅振荡技术 大面积RF等离子体反应器 等离子体诊断
年,卷(期) 2000,(10) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 3-5
页数 3页 分类号 O536
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研究主题发展历程
节点文献
腔型减幅振荡技术
大面积RF等离子体反应器
等离子体诊断
研究起点
研究来源
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等离子体应用技术快报
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