钛薄膜氢化及热释放特性研究

• 作者: 周筑颖 施立群 赵国庆
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 钛膜氢化 热释放 离子束分析
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 328-333
• 页数: 6页
• 分类号: TQ122.3|O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.2000.04.007

摘要

用高能离子非卢瑟福背散射分析和前向反冲分析方法研究了C、O污染对Ti膜的吸放氢能力的影响.实验观测到,1.26×1016 cm-2C和2.6×1016 cm-2O的双重污染可使Ti膜在300 nm的范围内存在着低的H浓度区,使氢的热释放温度大大提高.表面镀Ni可显著增强Ti膜的吸放氢能力,使H在Ti膜中均匀地饱和分布,同时,将H的热释放温度降到了热力学分解温度附近.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵国庆	复旦大学现代物理研究所	11	83	5.0	9.0
2	周筑颖	复旦大学现代物理研究所	9	54	5.0	7.0
3	施立群	复旦大学现代物理研究所	21	73	5.0	8.0