旋转CVI快速沉积热解碳基体

• 作者: 张立同 徐永东 成来飞 肖鹏
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 旋转化学气相浸渗 热解碳 沉积速度 转化率
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 181-183
• 页数: 3页
• 分类号: TB333
• 字数: 1842字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2000.02.019

摘要

采用一种新的CVI工艺(旋转CVI)进行了二维碳布沉积热解碳基体的实验研究.通过实验优化工艺参数,在低压(5 kPa)、高温(1 100 ℃)、体积分数为62.5%的C3H6与3.5 mm.min-1的碳布旋转线速度条件下,获得了微观孔隙中0.25 μm.h-1的热解碳沉积速度、约7%的C3H6转化率与理想的热解碳基体形貌.分析了旋转CVI工艺中沉积温度和C3H6浓度等分别对沉积速度、热解碳基体形貌及C3H6转化率的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成来飞	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	259	2656	22.0	40.0
2	张立同	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	248	2867	24.0	42.0
3	徐永东	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	131	1982	23.0	37.0
4	肖鹏	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	19	110	4.0	10.0