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金属蒸气真空弧离子束植入法合成锗化钴合金
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文献信息
| 篇名 | 金属蒸气真空弧离子束植入法合成锗化钴合金 | ||
| 来源期刊 | 等离子体应用技术快报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 大规模集成电路 离子植入 金属蒸气真空弧离子束 合成 锗化钴合金 | ||
| 年，卷（期） | 2000,（12） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 14-15 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TN47 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
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大规模集成电路
离子植入
金属蒸气真空弧离子束
合成
锗化钴合金
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相关学者/机构
期刊影响力
等离子体应用技术快报
主办单位：
核工业西南物理研究院
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
四川省成都市432信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
864
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