大面积双面外延YBCO超导薄膜研制

• 作者: 刘兴钊 李言荣 罗安 陶伯万
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高温超导 YBCO 外延薄膜
• 年，卷（期）: 2000,（12）
• 所属期刊栏目: 科研通信
• 页码范围: 128-131
• 页数: 2页
• 分类号: TN451
• 字数: 1583字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2000.12.040

摘要

本文通过倒简式直流对靶溅射(ICP)方法,在3英寸范围内LaAlO3和蓝宝石(A12O3)单晶基片上成功实现了两面同时沉积YBCO(YBa2Cu3Oy)高温超导外延薄膜,其Tco=88～91K,Jc=1～5×106A/cm2,Rs(77K,145GHz)=20～40mΩ,双面薄膜的两面一致性和面内均匀性都非常良好,可以满足微波器件研制的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李言荣		115	824	15.0	21.0
2	刘兴钊		56	310	9.0	14.0
3	陶伯万		39	165	5.0	10.0
4	罗安		4	5	2.0	2.0