制备双面大面积BDD电极的HFCVD设备流场仿真与结构设计

• 作者: 卢文壮 孙达飞 左敦稳 张林 王浩 薛海鹏
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 掺硼金刚石 热丝化学气相沉积设备 气体流场
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 8-13
• 分类号: TG74
• 语种: 中文

摘要

用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备双面大面积掺硼金刚石(BDD)电极时,沉积系统的气体流场均匀性对薄膜质量均匀性有着重要影响.针对大面积BDD电极制备的设备流场问题,采用仿真分析,研究了相关结构与流场的关系.通过设计均匀分散的进出气口以及在基板四周配置宽度为20 mm的减速板,可以有效消除横向流速差和边缘流速峰值,与结构改进之前相比能显著提高流场均匀性,高低流速差值从0.04 m/s降低到0.005 m/s.研究结果为薄膜的均匀制备提供了必要条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文壮	南京航空航天大学机电学院	94	520	12.0	17.0
2	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
3	王浩	南京航空航天大学机电学院	62	179	7.0	9.0
4	张林	南京航空航天大学机电学院	25	206	8.0	13.0
5	薛海鹏	南京航空航天大学机电学院	6	19	3.0	4.0
6	孙达飞	南京航空航天大学机电学院	5	15	3.0	3.0