微型梁杨氏模量与内应力的固有频率法测量

• 作者: 卢德江 王小斌 蒋庄德 陈伟
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 测量 微电机械系统(MEMS) 杨氏模量 内应力 光纤
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.07
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2000.05.013

摘要

为实现对硅微机械与光纤组合式阵列传感器的核心敏感元件--微型硅梁的杨氏模量和内应力进行测试,提出了利用光纤耦合机理来测量微型硅梁的横向固有振动频率,进而推导梁构件杨氏模量和内应力的方法,原理简洁,具体实现也较为可行,从而为机械构件的机械性能测试分析提供了方法,具有实用意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈伟		50	259	9.0	14.0
2	蒋庄德		165	1512	18.0	28.0
3	卢德江		6	51	4.0	6.0
4	王小斌		1	16	1.0	1.0