声激励共振法测量微机械材料的杨氏模量

• 作者: 陈建丽
• 来源期刊: 科技与创新
• 学科: 工学
• 关键词: 声激励共振法 测量 微机械材料 杨氏模量
• 年，卷（期）: 2023,（18）
• 所属期刊栏目: 科技前沿
• 页码范围: 68-70
• 页数: 2页
• 分类号: TB302.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.15913/j.cnki.kjycx.2022.18.019

摘要

为从根本上保障微机械构件生产质量，应做好微机械材料检测工作，判断材料内各项性能，优化材料生产工艺。现阶段声激励共振法是微机械材料的主要测量方式，该技术应用效果可直接影响到微机械材料应用水平，需要基于微机械材料杨氏模量测量方式，对比分析静态应变测量与静电激励共振测量方法的缺点。基于此，以声激励共振法测量微机械材料为切入点，对比分析静态应变测量与静电激励共振测量方式，提出声激励共振法测量在微机械材料中的具体应用流程以及应用实验结果，以供参考。