低镜面反射硅镀膜玻璃的微结构调制

• 作者: 张溪文 瞿浩明 莫建良 韩高荣
• 来源期刊: 材料科学与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 镀膜玻璃 漫散射 硅微晶
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 页码范围: 20-22
• 页数: 3页
• 分类号: TQ171.72+4
• 字数: 2126字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2000.04.004

摘要

通过反射率、透射率参量测试和高分辨电镜分析，研究了硅薄膜中微晶粒数量、尺寸和分布对镀膜玻璃镜面反射效果的影响。发现通过一定的热处理工艺可以调整硅膜中的晶粒状况，得到硅微晶粒数量众多、分布弥散且晶粒大小在数十至数百纳米的硅／非晶硅复合薄膜，使入射光产生漫散射进而有效降低镜面反射所造成的光污染。