阳极化膜用于等离子体电光开关放电腔绝缘模拟研究

• 作者: 冯斌 张雄军 董云 郑奎兴 郑建刚 魏晓峰 鲁敬平
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 电光开关 绝缘 阳极化膜 辉光放电
• 年，卷（期）: 2000,（Z2）
• 所属期刊栏目: 高功率固体激光
• 页码范围: 185-188
• 页数: 4页
• 分类号: TN520
• 字数: 3170字
• 语种: 中文

摘要

壳体金属化是等离子体电光开关实现阵列结构的必须,放电腔的绝缘是壳体金属化的技术关键和难点.分析了等离子体电极电光开关放电腔的主要放电过程和特性;介绍了几种厚度阳极化膜层的击穿电压和用于电光开关放电腔绝缘模拟实验的情况和结果.初步分析了影响阳极化膜用于等离子体电极电光开关放电腔绝缘的主要因素,实验表明60μm厚度的阳极化膜可以满足电光开关放电腔绝缘的实用要求.