X射线干涉仪实现扫描探针显微镜样板线间距纳米测量

• 作者: L.Koenders P.Becker U.Kuetgens 曹世志 曹芒 李达成 王林
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: X射线干涉计量术 纳米测量 扫描探针显微镜传递基准 扫描隧道显微镜。
• 年，卷（期）: 2000,（12）
• 所属期刊栏目: 光学仪器
• 页码范围: 1674-1679
• 页数: 5页
• 分类号: O766
• 字数: 2191字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2000.12.017

摘要

X射线干涉仪以非常稳定的单晶硅晶格作为长度单位，可以实现亚纳米精度的微位移测量。提出了将X射线干涉仪和扫描隧道显微镜结合起来，利用单晶硅的晶格尺度测量扫描探针显微镜样板节距的技术方案，并进行了实验研究。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李达成	清华大学精密测量技术及仪器国家重点实验室	43	658	15.0	24.0
2	王林	清华大学精密测量技术及仪器国家重点实验室	27	155	8.0	12.0
3	曹芒	清华大学精密测量技术及仪器国家重点实验室	5	73	4.0	5.0
4	曹世志	中国计量科学研究院长度处	1	7	1.0	1.0