光栅式大量程高分辨率位移测量研究

• 作者: 吕海宝 徐涛 曹聚亮 颜树华
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 量程 分辨率 位移测量 光栅 光学细分
• 年，卷（期）: 2000,（8）
• 所属期刊栏目: 超精密加工技术专辑
• 页码范围: 878-880
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2000.08.012

摘要

提出一种光栅式位移测量新方法,利用单个普通低线数计量光栅,实现高分辨率、大量程的位移测量.给出测量光路图,分析测量原理,最后介绍初步原理实验及结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕海宝		10	124	5.0	10.0
2	曹聚亮	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	20	76	5.0	8.0
3	颜树华	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	13	99	5.0	9.0
4	徐涛	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	1	18	1.0	1.0