半导体工业废水、废气中砷、磷、硫、氟、氯及氮氧化物和重金属的综合治理

• 作者: 闻瑞梅
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 废水 废气 治理
• 年，卷（期）: 2000,（11）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1-3,8
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.05
• 字数: 2906字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2000.11.001

摘要

本文介绍了在半导体工业废水、废气中砷、磷、硫、氟、氯及氮氧化物、重金属及各种酸的综合治理方法、工艺流程和设备,用中和絮凝沉降一体化装置,利用共生沉淀的原理处理废水.用椭圆型喷淋吸收塔,氧化剂、碱吸收治理半导体工业废气中砷、磷、硫、氟、氯、氮氧化物及各种酸.经环保部门检测均达到国家排放标准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闻瑞梅		24	151	8.0	11.0