电声元件、器件

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 微麦克风 铁电薄膜 扬声器 声元件 理论设计 理论计算 压电 硅集成 灵敏度 工艺基础
• 年，卷（期）: dzkjwz_2000,（12）
• 页码范围: 65-65
• 页数: 1页
• 分类号: TN

摘要

【正】 0020437铁电-硅集成微麦克风和扬声器的理论设计[刊]/任天令//压电与声光.—2000,22（4）.—234～236（L）在现有 Pb（Zr,Ti）O₃（PZT）铁电薄膜的制备工艺基础上,提出并设计了可集成在同一芯片上的基于PZT 铁电薄膜的压电型微麦克风、扬声器结构,对其灵敏度和声输出进行了理论计算。比较了基于 PZT和 ZnO 两种材料的微麦克风和扬声器的性能差异。参5