数字微反射镜装置的分析与设计

• 作者: 冯小平 贾建援 邵彬
• 来源期刊: 西安电子科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 数字微反射镜 数字光信号处理 投影仪
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TH11|TN4|TP334
• 字数: 1935字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2400.2001.01.001

摘要

简述了数字微镜装置的微机械工作原理和数字光信号处理技术，建立了基于微米技术制作的数字微镜的机电动力学模型，并给出了微机械碰撞中考虑纳米尺寸效应的实用建模方法．数值仿真分析了某微反射镜单元的运动状态和过程，分析结果与该微镜实测结果吻合较好．此外，还设计了一种新型微镜阵列，提出了相应的分析设计方法．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾建援	西安电子科技大学机电工程学院	174	1783	17.0	35.0
2	冯小平	西安电子科技大学电子工程学院	57	158	7.0	12.0
3	邵彬	西安电子科技大学机电工程学院	1	0	0.0	0.0